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    T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準發布公告

    T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準發布公告

    來源:
    ICMtia
    2020/02/24
    瀏覽量

    各有關單位:

     

      根據《團體標準管理規定》及《集成電路材料產業技術創新聯盟標準制定程序》要求,經聯盟標準委員會審議通過,現批準發布T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準。

     

    本標準于2020224日發布,并于2020424日開始實施,特此公告。

     

     

    集成電路材料產業技術創新聯盟

     二零二零年二月二十四日

    T/ICMTIA 3-2020《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準目錄

     

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