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    《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準介紹

    《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準介紹

    來源:
    ICMtia
    2020/03/09
    瀏覽量

    一、標準背景

        高純六氯乙硅烷是一種性能穩定、揮發性低的濕度敏感性的特種氣體,主要用于半導體行業氧化硅膜、氮化硅膜的制備,在半導體、光電材料等領域有著廣泛的應用前景。與傳統的化學氣相沉積法制備的氧化硅、氮化硅薄膜相比,六氯乙硅烷的沉積溫度低、沉積壓力低、效率高,且得到薄膜的密度、絕緣性、抗腐蝕性、兼容性皆更優。

        目前國內產業的六氯乙硅烷需求逐年增長,且大部分依賴進口。國內近年對高純六氯乙硅烷的科研投入逐漸增多,一些企業已經有了自己的生產技術并已進行量產,逐步開拓國內外市場。在市場化階段,良莠不齊的技術指標和充裝、運輸要求,使各企業如閉門造車,因此一套適合國內技術和應用水平的標準出臺迫在眉睫,以打破依賴進口的被動局面。

    二、標準制定

        在此之前,國家標準、行業標準及SEMI標準中均無六氯乙硅烷產品標準可供行業參考,因此《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準的制定和發布及時填補了行業空白,為國內各企業生產高純六氯乙硅烷產品提供了指導。

        《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準制定參與單位包括洛陽中硅高科技有限公司、江蘇南大光電材料股份有限公司、江蘇雅克科技股份有限公司、中巨芯科技有限公司等,集中了我國主要的六氯乙硅烷研發生產單位,并廣泛征集上下游意見,具有較高的代表性和實施可行性。 本團體標準的制定過程嚴格按照聯盟《標準制定程序》進行,歷時14個月于2020224日正式發布。

    三、標準主要內容

        本標準的主要內容包括以下幾部分:

        其中,“技術要求”結合了用戶要求及國內生產現狀,按照六氯乙硅烷產品用途分為A、B兩個級別,A級可以直接供集成電路客戶使用,B級為原料級產品精制提純后滿足集成電路用戶使用要求,技術指標如下:

    “組分的測定”中規定了氣相色譜儀、色譜柱的儀器類型,載氣、吹掃氣的純度等;給出了推薦的色譜條件,包括柱長、檢測器溫度、進樣口溫度、柱箱溫度、載氣流量、吹掃氣流量、分流比等;以及分析結果的計算公式與表述方法。

    “雜質元素含量的測定”規定了電感耦合等離子體質譜儀、電子天平、器皿的類型;以及潔凈環境、超純水、硝酸、氫氟酸、標準貯存溶液的要求;并描述了推薦的分析步驟。

    本標準還明確了六氯乙硅烷產品的包裝與運輸要求,并將“六氯乙硅烷安全技術說明”作為附錄,便于標準的閱讀與使用。

     

     

        《集成電路用六氯乙硅烷》團體標準免費為聯盟成員提供電子版原文,有需求的單位請發送郵件至liuyan@icmtia.com,聯系人:劉巖。

     

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